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輪廓測量系統Z1軸(檢出器)測量范圍60 mm(水平狀態±30mm) Z1軸(檢出器)測長單元RT檢出器 Z1軸(檢出器)分辨力0.04μm 直線度(X軸水平姿勢)0.8μm/100 mm
浙公網安備 33020602000784號